Vakuuminio siurblio vaidmuo

Vakuuminio siurblio funkcija yra pašalinti dujų molekules iš vakuuminės kameros, sumažinti dujų slėgį vakuuminėje kameroje ir pasiekti reikiamą vakuumo laipsnį. Apskritai, yra platus diapazonas nuo atmosferos iki labai didelio vakuumo, ir iki šiol jokia vakuuminė sistema negalėjo apimti šio diapazono. Todėl, norint pasiekti skirtingų gaminių proceso rodiklius, darbo efektyvumo ir įrangos eksploatavimo trukmės reikalavimus, skirtingoms vakuuminėms sekcijoms reikia pasirinkti skirtingas vakuuminių sistemų konfigūracijas. Siekiant optimalios konfigūracijos, renkantis vakuuminę sistemą reikia atsižvelgti į šiuos dalykus:
Norint nustatyti reikiamą vakuumo lygį, pirmiausia reikia patikrinti kiekvienam procesui reikalingą vakuumo lygį. Kadangi kiekvienas procesas turi savo tinkamų vakuumų asortimentą, jį reikia atidžiai išstudijuoti, kad būtų galima nustatyti.
Vakuuminio siurblio sistemos ribinis vakuumas tikrinamas remiantis procesui reikalingo vakuumo lygio nustatymu, nes nuo sistemos galutinio vakuumo priklauso optimalus darbinis sistemos vakuumas. Paprastai tariant, didžiausias sistemos vakuumas yra 20 % mažesnis nei sistemos darbinis vakuumas ir 50 % mažesnis už atbulinio siurblio galutinį vakuumą.
Patikrinkite, kad nustatytumėte proceso reikalaujamo siurbimo tipą ir kiekį. Nes jei pumpuojamų dujų rūšis reaguoja su siurblio viduje esančiu skysčiu, siurblio sistema bus užteršta. Tuo pačiu metu reikia atsižvelgti į tinkamo išmetimo laiko ir siurbimo proceso metu susidarančių dujų kiekio nustatymą.